[发明专利]液状体配置方法、器件的制造方法、液状体喷出装置

权利要求书

1.一种液状体配置方法，利用通过向驱动部件供给电信号而从喷嘴喷出液状体的喷头，对喷出对象物进行该液状体的配置，

该液状体配置方法包括：

A步骤，供给与规定条件有关的所述电信号，测量喷出量；

B步骤，对测量所述喷出量时所述喷头的周围的第一温度进行测量；

C步骤，在配置所述液状体时，测量所述喷头周围的第二温度；和

D步骤，以基于所述喷出量、所述第一温度、所述第二温度而确定的条件生成所述电信号，供给生成的该电信号，进行所述液状体的配置。

2.根据权利要求1所述的液状体配置方法，其特征在于，

所述电信号的条件是电压成分。

3.根据权利要求2所述的液状体配置方法，其特征在于，

在所述喷头的所述喷嘴的形成面的周围或所述液状体的导入部的周围、或者在所述喷头的所述喷嘴的形成面的周围以及所述液状体的导入部的周围这两处，进行所述第一温度以及所述第二温度的测量。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的液状体配置方法，其特征在于，

将所述C步骤以及所述D步骤对一个所述喷出对象物至少进行一次以上。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的液状体配置方法，其特征在于，

采用多个所述喷头，

对所述多个喷头的一部分或每一个进行所述第一温度以及所述第二温度的测量。

6.一种液状体配置方法，利用通过向驱动部件供给电信号而从喷嘴喷出液状体的喷头，对喷出对象物进行该液状体的配置，

该液状体配置方法包括：

G步骤，供给与规定条件有关的所述电信号，在进行所述液状体的配置的第一区域测量第一预备喷出量，在与所述第一区域分离的第二区域测量第二预备喷出量；

H步骤，在配置所述液状体时，在第二区域，供给与规定条件有关的所述电信号并测量喷出量，和

I步骤，以基于所述第一预备喷出量、所述第二预备喷出量、由所述H步骤测量的喷出量而确定的条件生成所述电信号，供给生成的该电信号，进行所述液状体的配置。

7.一种器件的制造方法，包括：利用权利要求1～6中任一项所述的液状体配置方法向基板配置所述液状体，使所配置的该液状体固化而形成膜的步骤，其中该膜作为构成要素而包含于所述器件。

8.一种液状体喷出装置，包括：

喷头，其通过向驱动部件供给电信号而从喷嘴喷出液状体；

喷出量测量部件，其供给与规定条件有关的所述电信号，喷出所述液状体，进行其喷出量的测量；

第一温度测量部件，其在测量所述喷出量时，对所述喷头的周围的第一温度进行测量；

配置控制部件，其通过从所述喷嘴喷出所述液状体，向喷出对象物配置所述液状体；

第二温度测量部件，其在配置所述液状体时，对所述喷头的周围的第二温度进行测量；和

电信号控制部件，其基于所述喷出量、所述第一温度、所述第二温度，对配置所述液状体时供给的所述电信号的条件进行控制。