[发明专利]铝镓氮－锆钛酸铅焦平面探测器

摘要

本发明公开了一种AlGaN－PZT焦平面探测器，它采用两种不同响应波段材料同相叠加集成结构。利用多层薄膜结构中不同层对于不同光子能量的光吸收的差别，实现了在紫外到红外的宽波段吸收和高分辨率的有机结合。外延层AlGaN作为紫外吸收层，吸收能量大于其禁带宽度的入射光子，并转化为光电流；同时作为窗口层，使能量小于其禁带宽度的入射光子透过。透过的光子被LaNiO₃吸收转化为热量，传递给PZT材料，利用热释电性质，得到光信号。本发明的优点是：适应大规模焦平面应用，并且可以室温工作。

主权项

1.一种AlGaN-PZT焦平面探测器，包括：蓝宝石衬底(1)，其特征在于：在蓝宝石衬底(1)上依次置有AlGaN NIP型紫外列阵探测器和PZT铁电复合薄膜红外列阵探测器；在紫外列阵探测器和PZT铁电复合薄膜列阵探测器之间置有防止串音的多孔SiO2隔热层(7)。