[发明专利]简并预烧测试与高温测试的晶片封装制程有效
申请号: | 200710162858.8 | 申请日: | 2007-10-16 |
公开(公告)号: | CN101414567A | 公开(公告)日: | 2009-04-22 |
发明(设计)人: | 方立志;范文正 | 申请(专利权)人: | 力成科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60;H01L21/66 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿 宁;张华辉 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明有关一种简并预烧测试与高温测试的晶片封装制程,包括:提供一或复数晶片;设置该些晶片于基板条的一或复数基板单元,基板单元具有晶片设置面及表面接合面,表面接合面设有复数外接垫;电性连接该些晶片至对应基板单元;形成一封胶体于基板条上密封该些晶片;进行封胶后烘烤使封胶体固化,在烘烤过程中同时进行预烧测试,以预烧探测板复数探测端子电性接触基板条该些外接垫,烘烤步骤前基板条具有复数电镀线断路区使不同基板单元间的外接垫为电性隔离;及进行封装切割使基板单元分离为单颗封装构造。本发明能结合预烧测试省去后续测试时间,可降低制程周期;能使封胶烘烤炉与预烧测试炉整合为单一设备,可减少设备成本;还可减少外接端子在测试过程受损与劣化。 | ||
搜索关键词: | 测试 高温 晶片 封装 | ||
【主权项】:
1、一种晶片封装制程,其特征在于其包括以下步骤:提供一个或复数个晶片;设置该些晶片于一基板条的一个或复数个基板单元,每一基板单元具有一晶片设置面及一相对的表面接合面,该表面接合面设有复数个外接垫;电性连接该些晶片至对应的基板单元;形成一封胶体于该基板条上,以密封该些晶片;进行一封胶后烘烤,以使该封胶体为固化稳定,并且在封胶后烘烤过程中同时进行预烧测试,以一预烧探测板的复数个探测端子电性接触该基板条的该些外接垫,在上述封胶后烘烤步骤之前,该基板条具有复数个电镀线断路区,以使不同基板单元之间的外接垫为电性隔离;以及进行封装切割,以使该些载设有上述已封胶晶片与该些外接端子的基板单元为单体化分离为单颗封装构造。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于力成科技股份有限公司,未经力成科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200710162858.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:山珍魔芋糊的生产方法
- 下一篇:一种含有整鱼粉的鸡饲料
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造