[发明专利]Ⅲ族氮化物衬底及其制造方法无效
| 申请号： | 200710149727.6 | 申请日： | 2007-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN101138833A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 石桥惠二;入仓正登;中畑成二 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B29/00;H01L21/304;H01L21/20;H01L21/02;H01L23/00;H01L33/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 穆德骏;黄启行 |
| 地址： | 日本大阪府大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开一种可获得平坦度优良的Ⅲ族氮化物衬底的Ⅲ族氮化物衬底制造方法，其包括步骤：将多个条纹型Ⅲ族氮化物衬底粘附到研磨支撑台上，以使得条纹结构方向垂直于研磨支撑台的旋转方向；和粗磨、精磨和/或抛光该衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化物 衬底 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种III族氮化物衬底的制造方法，包括步骤：将多个条纹型III族氮化物衬底粘附到研磨支撑台上，以使得条纹结构方向垂直于所述研磨支撑台的旋转方向；和粗磨、精磨和/或抛光所述衬底。
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