[发明专利]静电夹盘、使用该夹盘的基板处理设备及基板处理方法无效
| 申请号： | 200710147985.0 | 申请日： | 2007-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN101136351A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 孙亨圭 | 申请（专利权）人： | 爱德牌工程有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种静电夹盘，该静电夹盘包括DC电源和AC电源两者。在基板处理步骤期间，向夹盘的电极施加DC电力，以产生将基板保持在夹盘上的静电保持力。当要将基板从夹盘移除时，切断DC电力，并且施加AC电力，以帮助消除在切断DC电力之后残留在夹盘上的残余电荷。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 使用 处理 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种静电夹盘，包括：电极；DC电源，向所述电极施加DC电力，以产生静电保持力；以及AC电源，当所述DC电源被切断时向所述电极施加AC电力，以中和残留在所述电极上的残余电荷。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
