[发明专利]静电夹盘、使用该夹盘的基板处理设备及基板处理方法

权利要求书

1.一种静电夹盘，包括：

电极；

DC电源，向所述电极施加DC电力，以产生静电保持力；

以及

AC电源，当所述DC电源被切断时向所述电极施加AC电力，以中和残留在所述电极上的残余电荷。

2.根据权利要求1所述的夹盘，其中，所述AC电源是AC电压电源。

3.根据权利要求1所述的夹盘，其中，所述AC电源是脉冲发生器。

4.根据权利要求1所述的夹盘，进一步包括检测所述电极上的电荷的传感器。

5.根据权利要求1所述的夹盘，进一步包括检测所述电极的电压的电压传感器。

6.根据权利要求5所述的夹盘，其中，所述电压传感器被接地。

7.根据权利要求6所述的夹盘，进一步包括设置在所述电压传感器与地之间的开关。

8.根据权利要求7所述的夹盘，进一步包括将所述电极连接于所述DC电源和所述AC电源的开关。

9.根据权利要求1所述的夹盘，进一步包括将所述电极连接于所述DC电源和所述AC电源的开关。

10.一种基板处理设备，包括：

基板处理室；

静电夹盘，安装于所述基板处理室内；

DC电源，向所述静电夹盘的电极施加DC电力，以产生静电保持力；以及

AC电源，当所述DC电源被切断时向所述电极施加AC电力，以便中和残留在所述电极上的残余电荷。

11.根据权利要求10所述的设备，其中，所述AC电源是AC电压电源。

12.根据权利要求10所述的设备，其中，所述AC电源是脉冲发生器。

13.根据权利要求10所述的设备，进一步包括用于检测所述电极上的电荷的传感器。

14.根据权利要求13所述的设备，其中，所述传感器包括电压传感器。

15.根据权利要求13所述的设备，其中，所述传感器被接地。

16.一种处理设置在静电夹盘上的基板的方法，所述方法包括：

向所述静电夹盘的电极施加DC电力，以产生将所述基板保持在所述夹盘上的静电保持力；

在所述基板上进行处理步骤；

当要将所述基板从所述夹盘上移除时，切断所述DC电力；以及

在切断所述DC电力之后，向所述电极施加AC电力，以中和残留在所述夹盘上的残余电荷。

17.根据权利要求16所述的方法，进一步包括在切断所述DC电力之后并在供应所述AC电力之前将所述电极接地。

18.根据权利要求17所述的方法，进一步包括在所述电极接地之后检测所述电极上的残余电荷，并且其中，向所述电极供应AC电力的所述步骤包括仅施加用于中和在所述检测步骤期间检测到的所述电荷而需要的所述AC电力。

19.根据权利要求16所述的方法，进一步包括在切断所述DC电力之后检测所述电极上的电荷。

20.根据权利要求16所述的方法，其中，向所述电极施加AC电力的所述步骤包括仅施加用于中和在所述检测步骤期间检测到的所述电荷而需要的所述AC电力。

21.根据权利要求16所述的方法，其中，向所述电极供应AC电力的所述步骤包括：

最初时施加具有与所述DC电压相同的极性和幅度的AC电压；以及

将所述AC电压的所述幅度快速减少至零。