[发明专利]位置检测方法、位置检测装置、图案绘制装置和被检测物无效
| 申请号： | 200710142601.6 | 申请日： | 2007-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN101178545A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 井上正雄 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐恕 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种以一次拍摄就能够检测出被检测物的位置的技术。图案绘制装置在成为处理对象的基板(9)上，作为定位区域(92)的规定范围内集中形成有多个定位标记(60)，这些定位标记为分别记录了基板(9)上的基准位置与自身之间的相对位置的信息记录码。在定位基板(9)时，由于拍摄这样集中着多个定位标记(60)的定位区域(92)而取得图像，所以即使将拍摄倍率设定为高倍率而缩小拍摄范围，也能够将多个定位标记(60)的某一个包含在图像之中。而且，作为像而包含在该图像中的一个定位标记(60)被设定为注视标记，根据图像中的注视标记导出基板(9)的位置，从而通过一次拍摄就能够检测出基板(9)的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 检测 方法 装置 图案 绘制 | ||
【主权项】：
1.一种位置检测方法，检测被配置在规定配置区域内的被检测物的位置，其特征在于，包括：拍摄工序，其拍摄所述被检测物来取得图像，其中，该被检测物集中形成了各自能够指定所述被检测物上的基准位置与自身的相对位置，即第一位置的多个位置检测标记；位置导出工序，其根据在所述多个位置检测标记中作为像而被包含在所述图像中的一个位置检测标记的所述图像中的像，来指定该一个位置检测标记的所述第一位置，并根据该第一位置导出所述被检测物的位置。
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