[发明专利]位置检测方法、位置检测装置、图案绘制装置和被检测物无效
| 申请号: | 200710142601.6 | 申请日: | 2007-08-15 |
| 公开(公告)号: | CN101178545A | 公开(公告)日: | 2008-05-14 |
| 发明(设计)人: | 井上正雄 | 申请(专利权)人: | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐恕 |
| 地址: | 日本京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 位置 检测 方法 装置 图案 绘制 | ||
1.一种位置检测方法,检测被配置在规定配置区域内的被检测物的位置,其特征在于,
包括:
拍摄工序,其拍摄所述被检测物来取得图像,其中,该被检测物集中形成了各自能够指定所述被检测物上的基准位置与自身的相对位置,即第一位置的多个位置检测标记;
位置导出工序,其根据在所述多个位置检测标记中作为像而被包含在所述图像中的一个位置检测标记的所述图像中的像,来指定该一个位置检测标记的所述第一位置,并根据该第一位置导出所述被检测物的位置。
2.如权利要求1所述的位置检测方法,其特征在于,
所述位置导出工序包括:
第一指定工序,其指定所述一个位置检测标记的所述第一位置;
第二指定工序,其根据所述图像中的所述一个位置检测标记的像的位置,指定所述一个位置检测标记与拍摄所述图像的拍摄装置的相对位置作为第二位置;
第三指定工序,其根据所述第一位置和所述第二位置指定所述被检测物的位置。
3.如权利要求1所述的位置检测方法,其特征在于,
所述多个位置检测标记的每个,用配置为二维网格状的多个点的有无来表示信息;
在所述位置导出工序中,根据所述图像中的所述一个位置检测标记的像表示的信息来指定所述第一位置。
4.如权利要求1所述的位置检测方法,其特征在于,
所述多个位置检测标记的每个为记录了有关自身的所述第一位置的信息记录码;
在所述位置导出工序中,通过读取所述图像中的所述一个位置检测标记的像表示的所述信息记录码来指定所述位置检测标记的所述第一位置。
5.如权利要求1所述的位置检测方法,其特征在于,
所述多个位置检测标记的每个表示从其它的位置检测标记识别自身的识别信息,
在所述位置导出工序中,根据表示所述多个位置检测标记每个的所述识别信息与所述第一位置的对应关系的对应表,和所述图像中的所述一个位置检测标记的像表示的所述识别信息来指定所述一个位置检测标记的所述第一位置。
6.如权利要求2所述的位置检测方法,其特征在于,
所述多个位置检测标记的每个具有规定成为该位置检测标记内的基准的位置的符号,
在所述第二指定工序中,根据所述图像中的所述符号的像来指定所述图像中的所述一个位置检测标记的像的位置。
7.一种位置检测装置,检测被配置在规定配置区域内的被检测物位置,其特征在于,
具有:
拍摄装置,其拍摄所述被检测物来取得图像,其中,该被检测物集中形成了分别能够指定所述被检测物上的基准位置与自身的相对位置,即第一位置的多个位置检测标记;
位置导出装置,其根据在所述多个位置检测标记中作为像而被包含在所述图像中的一个位置检测标记的所述图像中的像,来指定这一位置检测标记的所述第一位置,并根据该第一位置导出所述被检测物的位置。
8.如权利要求7所述的位置检测装置,其特征在于,
所述位置导出装置具有:
第一指定装置,其指定所述一个位置检测标记的所述第一位置;
第二指定装置,其根据所述图像中的所述一个位置检测标记的像的位置,指定所述一个位置检测标记与所述拍摄装置的相对位置来作为第二位置;
第三指定装置,其根据所述第一位置和所述第二位置来指定所述被检测物的位置。
9.如权利要求7所述的位置检测装置,其特征在于,
所述多个位置检测标记的每个用配置为二维网格状的多个点的有无来表示信息,
所述位置导出装置根据所述图像中的所述一个位置检测标记的像表示的信息来指定所述第一位置。
10.如权利要求7所述的位置检测装置,其特征在于,
所述多个位置检测标记的每个为记录了有关自身的所述第一位置的信息记录码,
所述位置导出装置利用读取所述图像中的所述一个位置检测标记的像表示的所述信息记录码,来指定所述位置检测标记的所述第一位置。
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