[发明专利]位置检测方法、位置检测装置、图案绘制装置和被检测物

说明书

技术领域

本发明涉及一种检测被配置在规定的配置区域内的被检测物的位置的技术。

背景技术

在液晶显示装置所具备的滤色镜用基板、液晶显示装置或等离子显示装置等平板显示器(FPD)用玻璃基板、半导体衬底、印刷电路板等基板上绘制微细的图案的图案绘制装置等中，为了高精度地进行处理，必须进行将成为处理对象的基板准确地对位于规定的理想位置上的定位(alignment)。因此，至今提出过检测被装载在规定的配置区域内的基板的位置的各种技术方案。

例如，用现有的代表技术中，在基板上的规定位置预先标注上定位标记(alignment mark)，用摄影机拍摄该定位标记周围而取得图像。然后根据图像中的定位标记的像的位置检测出基板的实际位置与理想位置的偏离量，并根据检测到的偏离量将基板的位置修正到理想位置，就这样来进行基板的定位(参照专利文献1)。

专利文献1：JP特开2001-267229号公报

可是，为了以高精度进行基板的定位，必须把定位标记的拍摄倍率设定为较高的倍率。但是，若将拍摄倍率设定为高倍率，那么基板上的拍摄范围变得就非常小，所以有时拍摄范围之内就不含定位标记。因此，在现有技术中，在将拍摄倍率设定为较高倍率的精细定位之前，进行将拍摄倍率设定为较低倍率的低精度的预定位(用粗标准对位)，由此，在精细定位时拍摄范围内就包含了定位标记。

但是，若这样进行预定位和精细定位的2次定位(高倍率和低倍率的二次拍摄)，就要增加对基板的处理时间，降低了生产率，由此，期望着改善对策。

发明内容

鉴于上述问题，本发明目的在于提供通过一种一次拍摄就能够检测出被检测物的位置的技术。

为解决上述问题，技术方案1是一种位置检测方法，检测被配置在规定配置区域内的被检测物的位置，该位置检测方法包括：拍摄工序，其拍摄所述被检测物来取得图像，其中，该被检测物集中形成了各自能够指定所述被检测物上的基准位置与自身的相对位置，即第一位置的多个位置检测标记；位置导出工序，其根据在所述多个位置检测标记中作为像而被包含在所述图像中的一个位置检测标记的所述图像中的像，来指定该一个位置检测标记的所述第一位置，并根据该第一位置导出所述被检测物的位置的。

技术方案2，如技术方案1所述的位置检测方法，其中所述位置导出工序具有：第一指定工序，其指定所述一个位置检测标记的所述第一位置；第二指定工序，其根据所述图像中的所述一个位置检测标记的像的位置，指定所述一个位置检测标记与拍摄所述图像的拍摄装置的相对位置作为第二位置；第三指定工序，其根据所述第一位置和所述第二位置指定所述被检测物的位置。

技术方案3，如技术方案1或2所述的位置检测方法，其中所述多个位置检测标记的每个用配置为二维网格状的多个点的有无来表示信息；在所述位置导出工序中，根据所述图像中的所述一个位置检测标记的像表示的信息来指定所述第一位置。

技术方案4，如技术方案1至3的任一项所述的位置检测方法，其中所述多个位置检测标记的每个为记录了有关自身的所述第一位置的信息记录码；在所述位置导出工序中，通过读取所述图像中的所述一个位置检测标记的像表示的所述信息记录码来指定所述位置检测标记的所述第一位置。

技术方案5，如据技术方案1至3的任一项所述的位置检测方法，其中所述多个位置检测标记的每个表示从其它的位置检测标记识别自身的识别信息，在所述位置导出工序中，根据表示所述多个位置检测标记每个的所述识别信息与所述第一位置的对应关系的对应表，和所述图像中的所述一个位置检测标记的像表示的所述识别信息来指定所述一个位置检测标记的所述第一位置。

技术方案6的发明是根据技术方案2记载的位置检测方法，其中所述多个位置检测标记的每个具有规定成为该位置检测标记内的基准的位置的符号，在所述第二指定工序中，根据所述图像中的所述符号的像来指定所述图像中的所述一个位置检测标记的像的位置。

技术方案7是一种位置检测装置，检测被配置在规定配置区域内的被检测物位置，该位置检测装置具有：拍摄装置，其拍摄所述被检测物而取得图像，其中，该被检测物集中形成了分别能够指定所述被检测物上的基准位置与自身的相对位置，即第一位置的多个位置检测标记；位置导出装置，其根据在所述多个位置检测标记中作为像而被包含在所述图像中的一个位置检测标记的所述图像中的像，来指定这一位置检测标记的所述第一位置，并根据该第一位置导出所述被检测物的位置。