[发明专利]电容传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200710142377.0 | 申请日： | 2007-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101132652A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 铃木民人 | 申请（专利权）人： | 雅马哈株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/01 | 分类号： | H04R19/01;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 彭久云;葛青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种电容传感器的制造方法，包括的步骤为：(a)沉积将成为隔膜的膜，所述隔膜形成移动电极；(b)把将成为隔膜的膜加热到第一温度；及(c)沉积将成为板的膜，所述板形成与移动电极相对的静止电极。电容传感器的隔膜和板的应力被优化。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造电容传感器的方法，包括的步骤为：(a)沉积将成为隔膜的膜，所述隔膜形成移动电极；(b)把将成为隔膜的膜加热到第一温度；及(c)沉积将成为板的膜，所述板形成与移动电极相对的静止电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于雅马哈株式会社，未经雅马哈株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710142377.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
