[发明专利]具有开放配体的用于含钌膜沉积的前体无效

申请号：	200710139827.0	申请日：	2007-08-02
公开（公告）号：	CN101122010A	公开（公告）日：	2008-02-13
发明（设计）人：	J·伽蒂诺;C·迪萨拉	申请（专利权）人：	乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司
主分类号：	C23C16/06	分类号：	C23C16/06;C23C16/44
代理公司：	北京市中咨律师事务所	代理人：	林柏楠;刘金辉
地址：	法国***	国省代码：	法国;FR
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摘要：	用于含钌膜沉积的含钌前体，包含选自基本由下列物质组成的组的钌前体：Ru(XOp)(XCp)、Ru(XOp)₂、Ru(烯丙基)₃、RuX(烯丙基)₂、RuX₂(烯丙基)₂、Ru(CO)_x(脒根)_Y、Ru(二酮根)₂X₂、Ru(二酮根)₂(脒根)₂、它们的衍生物及其任何混合物。
搜索关键词：	具有开放用于含钌膜沉积
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【主权项】：

1.用于含钌膜沉积的含钌前体，包含选自基本由下列物质组成的组的钌前体：Ru(XOp)(XCp)、Ru(XOp)2、Ru(烯丙基)3、RuX(烯丙基)2、RuX2(烯丙基)2、Ru(CO)x(脒根)Y、Ru(二酮根)2X2、Ru(二酮根)2(脒根)2、它们的衍生物及其任何混合物。

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