[发明专利]具有多阶输出功能的缺陷检测系统及方法有效
| 申请号： | 200710138145.8 | 申请日： | 2007-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN101354414A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 王建国;高泰启;廖作祥;李渊哲;孙郁明 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/02;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 葛宝成;黄小临 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种具多阶输出功能的缺陷检测系统及方法，利用多阶信号检测技术以检测一集成电路的缺陷，缺陷检测系统使用一模/数转换器将一模拟读出信号转换为一具有多个位的输出码。缺陷检测方法包含一开路检测方法及一短路检测方法，开路及短路检测方法均包含一校正方法及一检测方法。校正方法是根据一预设码以设定在检测方法中，模/数转换器所需的一预设参考电压。检测方法利用预设参考电压及预设码以产生具有多个位的输出码，并根据输出码检测集成电路是否具有开路或短路缺陷及执行缺陷状态分类。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 输出 功能 缺陷 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具多阶输出功能的缺陷检测系统，用以检测一集成电路的一检测路径的缺陷，包含：一模/数转换器，具有一输入端、一参考输入端及一输出端口，该输入端耦接至该检测路径的一第一端点；一检测输入端，耦接至该检测路径的一第二端点；以及一电位下拉元件，耦合于该模/数转换器的该输入端与接地端之间。
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