[发明专利]具有多阶输出功能的缺陷检测系统及方法有效
申请号: | 200710138145.8 | 申请日: | 2007-07-26 |
公开(公告)号: | CN101354414A | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
发明(设计)人: | 王建国;高泰启;廖作祥;李渊哲;孙郁明 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R31/02;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 葛宝成;黄小临 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 输出 功能 缺陷 检测 系统 方法 | ||
1.一种具多阶输出功能的缺陷检测系统,用以检测一集成电路的一检测路径的缺陷,包含:
一模/数转换器,具有一输入端、一参考输入端及一输出端口,该输入端耦接至该检测路径的一第一端点;
一检测输入端,耦接至该检测路径的一第二端点;以及
一电位下拉元件,耦合于该模/数转换器的该输入端与接地端之间;
其中,在开路检测或短路检测的校正中,输入一输入电压至检测输入端,输入一参考电压至参考输入端,调整参考电压使模/数转换器所输出的一输出码等于一预设码,并设定此被调整的参考电压为一预设参考电压;在开路检测或短路检测中,输入与开路检测或短路检测的校正中所使用的输入电压相同的一输入电压至检测输入端,输入由开路检测或短路检测的校正中所设定的预设参考电压至模/数转换器的参考输入端,根据该模/数转换器的一输出码判断检测路径是否具有开路或短路缺陷。
2.如权利要求1所述的缺陷检测系统,另包含:
一选择电路;
多个第一晶体管,每一第一晶体管具有一源极、一漏极及一栅极,该源极与该漏极耦合于该模/数转换器的该输入端及一相对应的检测路径的一第一端点之间,该栅极耦合于该选择电路;以及
多个第二晶体管,每一第二晶体管具有一源极、一漏极及一栅极,该源极与该漏极耦合于该检测输入端及一相对应的检测路径的一第二端点之间,该栅极耦合于该选择电路;
其中,该选择电路可使能一第一晶体管及一第二晶体管以选择一相对应的检测路径。
3.如权利要求1所述的缺陷检测系统,其中,该电位下拉元件是一晶体管,具有耦接至接地端的一源极、耦接至该模/数转换器的该输入端的一漏极、及接收一使能信号的一栅极。
4.如权利要求1所述的缺陷检测系统,其中,该电位下拉元件是一电阻,耦合于该模/数转换器的该输入端及接地端之间。
5.如权利要求1所述的缺陷检测系统,其中,该缺陷检测系统整合于一待测晶片。
6.如权利要求1所述的缺陷检测系统,其中,该缺陷检测系统整合于一待测芯片。
7.如权利要求1所述的缺陷检测系统,其中,该模/数转换器包含:
多个比较器,每一比较器具有一第一输入端、一第二输入端及一输出端,该第一输入端耦合至该模/数转换器的该输入端;
多个电阻,所述多个电阻以串连方式耦合于该模/数转换器的该参考输入端与接地端之间,每个所述电阻与相邻电阻的连接节点电连接至一相对应的比较器的该第二输入端;以及
一编码器,具有多个输入端及多个输出端,每一输入端电连接至一相对应的比较器的该输出端。
8.如权利要求7所述的缺陷检测系统,其中,该编码器是一优先编码器。
9.一种检测一集成电路的一检测路径的开路缺陷的一开路检测的校正方法,包含:
耦接一电位下拉元件于一模/数转换器的一输入端与接地端之间;
耦接一开路检测校正路径于该模/数转换器的该输入端与一检测输入端之间;
输入一输入电压至该检测输入端;
输入一参考电压至该模/数转换器的一参考输入端;以及
调整该参考电压使该模/数转换器所输出的一输出码等于一预设码,并设定此时被调整的该参考电压为一预设参考电压。
10.如权利要求9所述的校正方法,其中,该预设码是该模/数转换器所输出的该输出码的一中值码。
11.如权利要求9所述的校正方法,其中,该模/数转换器所输出的该输出码是一3位码,该预设码是“100”。
12.一种检测一集成电路的一检测路径的开路缺陷的一开路检测的检测方法,包含:
耦接一电位下拉元件于一模/数转换器的一输入端与接地端之间;
耦接一检测路径于该模/数转换器的该输入端与一检测输入端之间;
输入与开路检测的校正方法所使用的输入电压相同的一输入电压至该检测输入端;
输入由开路检测的校正方法所设定的一预设参考电压至该模/数转换器的一参考输入端;以及
根据该模/数转换器的一输出码判断该检测路径是否具有开路缺陷。
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