[发明专利]用于离子注入机的挡束器无效
| 申请号： | 200710136092.6 | 申请日： | 2007-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101110334A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | E·科拉特;R·D·戈德堡;C·伯吉斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/02;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于离子注入机的挡束器，其提供对入射于其上的离子束流的测量且可用于离子束优化。所提供的离子注入机的挡束器包括电荷收集器，其配备有分段表面以接收其上的离子束，其中所述表面被分成至少两端，一段绕另一段延伸，且其中两段中的每一段可用于当离子束入射于其上时，提供指示该段所收集的电荷的一个或多个信号。这样的挡束器是有利的，原因是其提供了离子束分布信息而无需扫描离子束。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子 注入 挡束器 | ||
【主权项】：
1.一种用于离子注入机的挡束器，其包含具有分段表面的电荷收集器，该分段表面被提供以接收其上的离子束，其中所述表面被分成至少两段，一段绕另一段延伸，且其中所述两段中的每段可用于当离子束入射于其上时，提供指示该段所收集的电荷的一个或多个信号。
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