[发明专利]硬质膜和制备该硬质膜的方法有效
| 申请号： | 200710126306.1 | 申请日： | 2007-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN101096747A | 公开（公告）日： | 2008-01-02 |
| 发明（设计）人： | 山本兼司;格尔曼·福克斯－拉比诺维奇 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32;B23B27/14;B23B51/00;B21J13/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开的是一种硬质膜和用于制备所述硬质膜的方法，其中所述硬质膜在耐磨性方面是显著优异的，并且即使在由于摩擦生热趋向于出现剧烈发热的环境下，也具有优异的抗氧化性，因此与包括TiAlN、TiCrAlN、TiCrAlSiBN、CrAlSiBN或NbCrAlSiBN的普通硬质膜相比，具有优异的性能。所述硬质膜包含(M)aCrbAlcSidBeYfZ(而M是选自周期表中的IVB族元素、VB族元素和VIB族元素(除Cr以外)中的至少一种元素，并且Z表示N、CN、NO和CNO中的一种)，其中a+b+c+d+e+f＝1，并且0＜a≤0.3，0.05≤b≤0.4，0.4≤c≤0.8，0≤d≤0.2，0≤e≤0.2且0.01≤f≤0.1(a、b、c、d、e和f分别表示M、Cr、Al、Si、B和Y的原子比)。 | ||
| 搜索关键词： | 质膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有优异抗氧化性的硬质膜，其包含：(M)aCrbAlcSidBeYfZ(而M是选自周期表中的IVB族元素、VB族元素和VIB族元素(除Cr以外)中的至少一种元素，并且Z表示N、CN、NO和CNO中的一种)，其中a+b+c+d+e+f＝1，并且0＜a≤0.3，0.05≤b≤0.4，0.4≤c≤0.8，0≤d≤0.2，0≤e≤0.2且0.01≤f≤0.1，(a、b、c、d、e和f分别表示M、Cr、Al、Si、B和Y的原子比)。
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