[发明专利]硬质膜和制备该硬质膜的方法有效
| 申请号： | 200710126306.1 | 申请日： | 2007-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN101096747A | 公开（公告）日： | 2008-01-02 |
| 发明（设计）人： | 山本兼司;格尔曼·福克斯－拉比诺维奇 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32;B23B27/14;B23B51/00;B21J13/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 质膜 制备 方法 | ||
1.一种具有优异抗氧化性的硬质膜，其组成为：
(M)aCrbAlcSidBeYfZ，而M是选自周期表中的IVB族元素、VB族元素和 VIB族元素中除Cr以外的至少一种元素，并且Z表示N、CN、NO和CNO中 的一种，其中
a+b+c+d+e+f＝1，并且
0＜a≤0.3，0.05≤b≤0.4，0.4≤c≤0.8，0≤d≤0.2，0≤e≤0.2且0.01≤f≤0.1， 其中d≥0.03和/或e≥0.03，
a、b、c、d、e和f分别表示M、Cr、Al、Si、B和Y的原子比。
2.一种具有优异抗氧化性的硬质膜，其组成为：
CrbAlcSidBeYfZ，而Z表示N、CN、NO和CNO中的一种，其中
b+c+d+e+f＝1，并且
0.2≤b≤0.5，0.4≤c≤0.7，0≤d≤0.2，，0≤e≤0.2且0.01≤f≤0.1，而d+e＞0， b、c、d、e和f分别表示Cr、Al、Si、B和Y的原子比。
3.一种硬质膜，其中交替层叠组成彼此不同的根据权利要求1的硬质 膜，并且每一层的厚度在5nm和200nm之间。
4.一种硬质膜，其中交替层叠组成彼此不同的根据权利要求2的硬质 膜，并且每一层的厚度在5nm和200nm之间。
5.一种制备硬质膜的方法：
其中当制备根据权利要求1所述的硬质膜时，通过阴极放电电弧离子 电镀法形成所述硬质膜。
6.一种制备硬质膜的方法：
其中当制备根据权利要求2所述的硬质膜时，通过阴极放电电弧离子 电镀法形成所述硬质膜。
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