[发明专利]一种TFT阵列基板结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种TFT阵列基板结构，包括：基板，形成在基板的栅线和数据线，栅线和数据线之间通过栅绝缘层隔开，栅线和数据线交叉定义一个像素区域，每一区域至少包括一薄膜晶体管器件和像素电极，其中数据线与薄膜晶体管器件的源电极为一体结构，且数据线和薄膜晶体管器件的源电极下方均包含有有源层。本发明同时公开了一种无狭缝光刻技术的四次光刻制造TFT阵列基板的方法。本发明通过不采用相对复杂的狭缝光刻工艺，使TFT阵列的制造工艺简单、制造成本降低和提高成品率。

主权项

1.一种TFT阵列基板结构，包括：基板，形成在基板的栅线和数据线，栅线和数据线之间通过栅绝缘层隔开，栅线和数据线交叉定义一个像素单元，每一像素单元至少包括一薄膜晶体管器件和像素电极，其特征在于：所述数据线与所述薄膜晶体管器件的源电极为一体结构，且所述数据线和所述薄膜晶体管器件的源电极下方均包含有有源层。