[发明专利]液体处理装置

摘要

液体处理装置具备：基板保持部(2)，水平地保持基板(W)，能够与基板一起旋转；呈环状的旋转杯体(4)，围绕保持在基板保持部上的基板，能够与基板一起旋转，承接被从基板甩脱的处理液；旋转机构(3)，使旋转杯体及基板保持部一体地旋转；液体供给机构(5)，对基板供给处理液。液体处理装置还具备环状的排液杯体(51)和环状的排气杯体(52)，在排气杯体上连接有排气口(70)，以将被取入到排气杯体中的气体成分排出。在排气杯体与排气口之间夹设有调节气流的气流调节机构(78、97、99a)，以使气体成分的气流在排气杯体内实际上从整周朝向排气口流动。

主权项

1、一种液体处理装置，其特征在于，具备：基板保持部(2)，水平地保持基板(W)，能够与基板一起旋转；旋转杯体(4)，围绕保持在上述基板保持部上的基板，能够与基板一起旋转，承接被从基板甩脱的处理液；旋转机构(3)，使上述旋转杯体及上述基板保持部一体地旋转；处理液供给机构(5)，对基板供给处理液；环状的排液杯体(51)，围绕上述旋转杯体的外侧设置，承接从上述旋转杯体排出的处理液并排液；环状的排气杯体(52)，容纳上述排液杯体并与上述排液杯体同心状地设置，将来自上述旋转杯体及其周围的主要是气体成分取入；排气口(70)，连接在上述排气杯体上，以将被取入到上述排气杯体中的上述气体成分排出；气流调节机构(78、97、99a)，夹设在上述排气杯体与上述排气口之间，调节气流，以使上述气体成分的气流在上述排气杯体内实际上从整周朝向上述排气口流动。