[发明专利]信息处理装置及其处理方法、半导体制造系统和存储介质

摘要

本发明提供一种信息处理装置(100)，处理作为关于对包含半导体的处理对象物进行与作为设定处理条件的值的设定值相应的处理的半导体制造装置(200)的处理时状态取得的值的取得值，包括：接受设定值的设定值接受部(101)、接受取得值的状态值接受部(102)、与作为表示设定值和取得值关系的函数的校正函数相应地算出取得值的校正量的校正量算出部(103)、利用校正量算出部(103)算出的校正量校正状态值接受部(102)接受的取得值的校正部(104)、和输出校正部(104)已校正的结果的输出部(105)。能够解决现有的信息处理装置中关于用不同的设定值进行的处理，难以容易地监视从各个半导体制造装置取得的值的问题。

主权项

1.一种信息处理装置，该信息处理装置处理作为关于半导体制造装置处理时的状态的值的状态值，该半导体制造装置对包含半导体的处理对象物进行与作为设定处理条件的值的设定值相应的处理，所述信息处理装置的特征在于，包括：接受所述设定值的设定值接受部；接受所述状态值的状态值接受部；利用作为表示所述设定值和所述状态值的校正量的关系的函数的校正函数，算出所述校正量的校正量算出部；利用所述校正量算出部算出的校正量校正所述状态值接受部接受的状态值的校正部；和输出所述校正部已校正的状态值的输出部。