[发明专利]传输电路、探针板、探针卡、半导体检查装置及制造方法无效
| 申请号： | 200710101932.5 | 申请日： | 2007-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101074970A | 公开（公告）日： | 2007-11-21 |
| 发明（设计）人： | 春日部进;森照享;成塚康则;中条德男 | 申请（专利权）人： | 株式会社瑞萨科技 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种探针板中的传输电路，该探针板的布线采用部分除去了夹着绝缘层(70)的信号布线(71)正下方的接地布线(72)的布线结构，信号布线和接地布线形成为放射状图案。还提供一种使用了该探针板的探针卡、使用了该探针卡的半导体装置的检查方法(制造方法)以及高频特性良好的连接用薄板。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 电路 探针 半导体 检查 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种传输电路，其特征在于，其布线结构是，具有在绝缘层的上表面形成的信号布线和在上述绝缘层的下表面形成的接地布线，将夹着上述绝缘层的上述信号布线正下方的上述接地布线部分除去。
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