[发明专利]硬碳膜和硬碳膜滑动构件

摘要

提供硬碳膜，其用于滑动构件，更具体地，与相对构件接触的它的滑动部位。该硬碳膜以在大于1.4至小于39原子％的范围内的总含量含有钴和镍的至少一种并含有在预定比例以下的直径超过5nm的钴和镍的聚集体。这样，能够提供比以往降低了摩擦系数、用简单工艺制造、并在多种润滑油中有效起作用的硬碳膜。

主权项

1.一种硬碳膜，其含有作为主要组分的无定形碳和大于1.4至小于39原子％总量的钴和/或镍，其中，当通过透射电子显微镜观察该膜的截面时，被具有超过5nm当量圆直径的钴聚集体和镍聚集体占据的区域小于被在该膜中产生的聚集体所占据的区域的40％。