[发明专利]压电元件及其制造方法、电子器件、喷墨器件有效
| 申请号： | 200710091634.2 | 申请日： | 2007-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101051668A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 石仓淳理;柴田尚存;青木活水;斋藤康行 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/09;H01L41/047;H01L41/22;B41J2/14;B41J2/045 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供了一种压电元件的制造方法，通过此方法，即使在高温下烘烤堆叠在衬底上的电极和压电膜，电极也不会氧化，并且可以抑制衬底、电极和压电膜之间的相互扩散。该电极被适配为叠层体，该叠层体从衬底侧起包括导电氧化物层、具有导电氧化物和导电金属的混合层以及包括导电金属的导电金属层，并且上述混合层被适配为渐变成分结构，其中导电氧化物的比例在与导电氧化物层的界面处最高，在与导电金属层的界面处最低。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 及其 制造 方法 电子器件 喷墨 器件 | ||
【主权项】：
1.一种压电元件，至少包括：衬底、压电膜和设置在该衬底和该压电膜之间的电极，其中，该电极包括导电氧化物和导电金属，在该电极的衬底侧包含的导电氧化物比导电金属多，在该电极的压电膜侧包含的导电金属比导电氧化物多。
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