[发明专利]图像拾取装置和图像拾取系统

摘要

本发明的图像拾取装置包括：设置在半导体衬底上的多个光电转换元件；设置在半导体衬底上的包括多个层间绝缘膜的多层布线结构；设置在该多层布线结构上的钝化层。在钝化层的下表面之下设置了第一绝缘层；在钝化层的上表面之上设置了第二绝缘层；钝化层和第一绝缘层的折射率互不相同，钝化层和第二绝缘层的折射率互不相同。此外，对层间绝缘膜和第一绝缘层中的至少一层进行了平面化处理。另外，在钝化层和第一绝缘层之间设置了第一防反射膜；在钝化层和第二绝缘层之间设置了第二防反射膜。

主权项

1.一种图像拾取装置，包括：设置在半导体衬底上的多个光电转换元件；设置在该半导体衬底上的包括多个层间绝缘膜的多层布线结构；设置在该多层布线结构上的钝化层；设置在钝化层之下且具有与钝化层的折射率不同的折射率的第一绝缘层；以及设置在钝化层之上且具有与钝化层的折射率不同的折射率的第二绝缘层，其中对所述多个层间绝缘膜中的至少一层或第一绝缘层进行了平面化处理；在钝化层和第一绝缘层之间设置了第一防反射膜；在钝化层和第二绝缘层之间设置了第二防反射膜；并且第一绝缘层、第一防反射膜、钝化层、第二防反射膜、第二绝缘层按此顺序层叠。