[发明专利]一种二氧化碳超临界干燥装置无效
| 申请号： | 200710064875.8 | 申请日： | 2007-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101275806A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 李全宝;景玉鹏;陈大鹏;欧毅;叶甜春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | F26B5/16 | 分类号： | F26B5/16 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及微电子技术中的微机电系统关键制造技术的牺牲层释放技术领域，公开了一种二氧化碳超临界干燥装置，该装置包括：超临界干燥室，用于牺牲层的释放，由高压反应室4和温度控制室5组成；高压反应室4用于盛放硅片支架，提供二氧化碳置换和气化干燥的反应室，与二氧化碳气瓶相连；温度控制室5通过盘管与高压反应室4相连，实现高压反应室4的制冷和加热；分离减压室6，通过管道与高压反应室4相连，用于将醇类和二氧化碳分离，并实现减压。利用本发明，解决了微细加工中干燥时粘连的问题，并降低了液体二氧化碳的消耗量，达到了节约能源和减少环境污染的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二氧化碳 临界 干燥 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种二氧化碳超临界干燥装置，其特征在于，该装置包括：超临界干燥室，用于牺牲层的释放，由高压反应室(4)和温度控制室(5)组成；高压反应室(4)用于盛放硅片支架，提供二氧化碳置换和气化干燥的反应室，与二氧化碳气瓶相连；温度控制室(5)通过盘管与高压反应室(4)相连，实现高压反应室(4)的制冷和加热；分离减压室(6)，通过管道与高压反应室(4)相连，用于将醇类和二氧化碳分离，并实现减压。
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