[发明专利]一种二氧化碳超临界干燥装置

权利要求书

1. 一种二氧化碳超临界干燥装置，其特征在于，该装置包括：

超临界干燥室，用于牺牲层的释放，由高压反应室(4)和温度控制室(5)组成；高压反应室(4)用于盛放硅片支架，提供二氧化碳置换和气化干燥的反应室，与二氧化碳气瓶相连；温度控制室(5)通过盘管与高压反应室(4)相连，实现高压反应室(4)的制冷和加热；

分离减压室(6)，通过管道与高压反应室(4)相连，用于将醇类和二氧化碳分离，并实现减压。

2. 根据权利要求1所述的二氧化碳超临界干燥装置，其特征在于，所述高压反应室(4)顶部安装有高压盖(1)，用于密封高压室。

3. 根据权利要求2所述的二氧化碳超临界干燥装置，其特征在于，所述高压盖(1)由不锈钢材料制成，其直径为180mm，高为20mm。

4. 根据权利要求1所述的二氧化碳超临界干燥装置，其特征在于，所述高压反应室底部安装有进口电磁阀(401)，出口电磁阀(403)，温度传感器(402)，压力传感器(404)；其中，进口电磁阀(401)和出口电磁阀(403)用于控制二氧化碳气体的进出；温度传感器(402)用于测试和控制高压反应室(4)内的温度；压力传感器(404)用于测试和控制高压反应室(4)内的压力。

5. 根据权利要求1所述的二氧化碳超临界干燥装置，其特征在于，所述高压反应室为不锈钢材料制成的圆柱体，其直径为135mm，高为82mm。

6. 根据权利要求1所述的二氧化碳超临界干燥装置，其特征在于，所述温度控制室(5)为氟利昂制冷器，在高压反应室(4)下面，通过盘管于高压反应室(4)相连，所述硅片支架置于高压反应室(4)内部，加热电阻丝直接绕贴在高压反应室(4)的底部。

7. 根据权利要求1所述的二氧化碳超临界干燥装置，其特征在于，所述分离减压室接有进气管和减压排气管(8)，进气管用于连接高压反应室(4)与分离减压室；减压排气管(8)用于排除残余废气。

8. 根据权利要求1或7所述的二氧化碳超临界干燥装置，其特征在于，所述分离减压室为不锈钢材料制成的圆柱体，其直径为135mm，高为200mm。

9. 根据权利要求1所述的二氧化碳超临界干燥装置，其特征在于，所述硅片支架为直径120mm，厚度80mm的铝合金圆柱，且上面有一个直径105mm深度为2毫米的凹台。

10. 根据权利要求1所述的二氧化碳超临界干燥装置，其特征在于，该装置由继电器温度压力传感器及阀门控制自动运行，并设置安全自锁机能。