[发明专利]一种电容器铝箔及其制备方法无效
| 申请号： | 200710052335.8 | 申请日： | 2007-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN101071684A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 潘应君;周青春;陈大凯;吴新杰 | 申请（专利权）人： | 武汉科技大学 |
| 主分类号： | H01G9/04 | 分类号： | H01G9/04 |
| 代理公司： | 武汉开元专利代理有限责任公司 | 代理人： | 樊戎 |
| 地址： | 430081*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明具体涉及一种电容器铝箔及其制备方法。其方案是：先将铝箔清洗后装入传送系统，再在沉积室1、冷却室6的底真空为6～8×10－3Pa的条件下，按体积比为1∶0.5～1∶2通入氮气和乙炔至沉积室1，沉积室1的气压为0.5～5pa，然后在沉积负偏压为50～300V的条件下开启钛靶电弧蒸发源3、11，靶电流为60～100A，同时启动传送系统，铝箔以5～20m/s的速度进入冷却室6，最后以10～60℃/min的冷却速度通入液氮，冷却至20～80℃。因此，本发明所制备的电容器铝箔的比容高、稳定性好、电容衰减小、无环境污染、使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容器 铝箔 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种电容器铝箔的制备方法，制备电容器铝箔的设备是，在沉积室1的上、下部分别装有多个钛靶电弧蒸发源3、11，沉积室1的中部设置有阴极导辊13，沉积室1的侧面设有进气口2，脉冲偏压电源4的一端与阴极导辊13相连、另一端与沉积室1的炉体阳极相连，沉积室1设置有传送系统的给料装置12，沉积室1通过一绝缘绝热通道与冷却室6相通，沉积室1、冷却室6分别与各自独立的真空控制系统8、10相通，冷却室6的上、下部分别设置有液氮喷嘴5、9，冷却室6的中部设置有传送系统的卷取装置7，其特征在于先将铝箔清洗后装入传送系统，再在沉积室1、冷却室6的底真空为6～8×10-3Pa的条件下，按体积比为1∶0.5～1∶2通入氮气和乙炔至沉积室1，沉积室1的气压为0.5～5.0pa，然后在沉积负偏压为50～300V的条件下开启钛靶电弧蒸发源3、11，靶电流为60～100A，同时启动传送系统，铝箔以5～20m/s的速度进入冷却室6，最后以10～60℃/min的冷却速度通入液氮，冷却至20～80℃。
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