[发明专利]一种电容器铝箔及其制备方法

权利要求书

1、一种电容器铝箔的制备方法，制备电容器铝箔的设备是，在沉积室[1]的上、下部分别装有多个钛靶电弧蒸发源[3、11]，沉积室[1]的中部设置有阴极导辊[13]，沉积室[1]的侧面设有进气口[2]，脉冲偏压电源[4]的一端与阴极导辊[13]相连、另一端与沉积室[1]的炉体阳极相连，沉积室[1]设置有传送系统的给料装置[12]，沉积室[1]通过一绝缘绝热通道与冷却室[6]相通，沉积室[1]、冷却室[6]分别与各自独立的真空控制系统[8、10]相通，冷却室[6]的上、下部分别设置有液氮喷嘴[5、9]，冷却室[6]的中部设置有传送系统的卷取装置[7]，其特征在于先将铝箔清洗后装入传送系统，再在沉积室[1]、冷却室[6]的本底真空为6×10^-3～8×10^-3Pa的条件下，按体积比为1∶0.5～1∶2通入氮气和乙炔至沉积室[1]，沉积室[1]的气压为0.5～5.0pa，然后在沉积负偏压为50～300V的条件下开启钛靶电弧蒸发源[3、11]，靶电流为60～100A，同时启动传送系统，铝箔以5～20m/s的速度进入冷却室[6]，最后以10～60℃/min的冷却速度通入液氮，冷却至20～80℃。

2、根据权利要求1所述的电容器铝箔的制备方法，其特征在于所述的铝箔清洗是，先在40～80℃的5～10％的NaOH溶液浸泡10～30s，然后用无水乙醇或丙酮脱水、烘干。

3、根据权利要求1所述的电容器铝箔的制备方法，其特征在于所述的传送系统包括给料装置[12]和卷取装置[7]，装入传送系统是先将铝箔卷装在沉积室[1]的给料装置[12]，铝箔卷通过道辊[13]连到冷却室的卷取装置[7]。

4、根据权利要求1所述的电容器铝箔的制备方法，其特征在于所述的沉积负偏压为脉冲偏压电源，采用逆变控制。