[发明专利]太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺无效
申请号: | 200710047893.5 | 申请日: | 2007-11-07 |
公开(公告)号: | CN101431120A | 公开(公告)日: | 2009-05-13 |
发明(设计)人: | 李文男;郭文林 | 申请(专利权)人: | 展丰能源技术(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 王敏杰 |
地址: | 201100*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及太阳能电池表面的处理工艺,特别是一种太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺。它包括如下减薄和制绒两步操作工艺。制绒工艺的具体操作步骤如下:在清洗设备的水槽中加入去离子水,并打开加热电源;按照规定的溶液比例,倒入已经称重好的碱固体,搅拌均匀;待温度升至指定温度后,加入缓释剂异丙醇,并搅拌均匀;放入已减薄好的硅片,反应即可。本发明方法与现有方法相比可以大大提高劳动生产效率,减少了环境污染,增加了生产操作的可控性。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 表面 结构 溶液 湿法 腐蚀 工艺 | ||
【主权项】:
1、一种太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺,其特征在于它包括如下步骤:步骤一,减薄;减薄工艺步骤中的相关工艺参数是:碱溶液浓度20%—30%;反应时间1—2min;温度70℃—90℃;步骤二,制绒,制绒工艺的具体操作步骤如下:(1)在清洗设备的水槽中加入去离子水,并打开加热电源;(2)按照规定的溶液比例,倒入已经称重好的碱固体,搅拌均匀;(3)待温度升至指定温度后,加入缓释剂异丙醇,第一批次加入4000ml—6000ml;第二批次以后加入2000ml—3000ml,并搅拌均匀;(4)放入已减薄好的硅片,反应即可;上述制绒工艺步骤中的相关工艺参数是:碱溶液浓度1. 0%—1.5%;反应时间20—35min;温度70℃—90℃。
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