[发明专利]太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺

说明书

技术领域：

本发明涉及太阳能电池表面的处理工艺，特别是一种太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺。

背景技术：

以前所使用的方法基本是酸腐蚀，主要是在HNO₃/HF的混合体系中进行反应，为了控制反应速率不至于过快，需要加入NH₃-H₂O，因此在反应得时候容易产生大量的有毒气体和异味，有毒气体的来源主要在于HNO₃反应时由于是放热反应，其自身易分解为NO₂和N₂O₄，异味主要来源于NH₃-H₂O，同时反应温度不易确定，硅片的表面状态也不易控制。

发明内容：

本发明的目的在于提供一种太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺，主要解决上述现有技术中所存在的缺陷，它可以大大提高劳动生产效率，减少了环境污染，增加了生产操作的可控性。

为解决上述问题，本发明是这样实现的：

一种太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺，其特征在于它包括如下步骤：

步骤一，减薄；减薄工艺步骤中的相关工艺参数是：

碱溶液浓度20％—30％；

反应时间1—2min；

温度70℃—90℃；

步骤二，制绒，制绒工艺的具体操作步骤如下：

1、在清洗设备的水槽中加入去离子水，并打开加热电源；

2、按照规定的溶液比例，倒入已经称重好的碱固体，搅拌均匀；

3、待温度升至指定温度后，加入缓释剂异丙醇，第一批次加入

4000ml—6000ml；第二批次以后加入2000ml—3000ml，并搅拌均匀；

4、放入已减薄好的硅片，反应即可；

上述制绒工艺步骤中的相关工艺参数是：

碱溶液浓度1.0％—1.5％；

反应时间20—35min；

温度70℃—90℃。

所述的太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺，其特征在于该

碱溶液是NaOH溶液或KOH溶液。

所述的太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺，其特征在于该

减薄工艺步骤中的优选的工艺参数是：

碱溶液浓度30％；

反应时间1.5min；

温度80℃。

所述的太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺，其特征在于该制绒工艺步骤中的最佳工艺参数是：

碱溶液浓度1.2％；

反应时间30min；

温度80℃。

所述的太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺，其特征在于该制绒过程中加入缓释剂乙醇/异丙醇，第一批次加入5000ml；第二批次以后加入2500ml为优选。

藉由上述方法，本发明与现有技术相比具有如下优点：

1、本发明方法采用碱溶液制备，反应速率均匀一致，只生成氢气，对环境无任何污染；

2、本发明方法采用乙醇/异丙醇作为溶液的缓释剂，几乎无任何异味；

3、本发明方法可以提高产量和工作效率，产量每班(8小时)可以生产6000片，工作效率可以提高50％。

具体实施方式：

本发明提供了一种太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺，其具体工艺步骤可参阅如下实施例。

实施例一：一种太阳能电池表面结构的NaOH溶液湿法腐蚀工艺，具体步骤是：

步骤一：减薄，为了去除原始硅片在切割后产生的表面损伤层，利

用单晶硅片的晶粒在浓碱中反应的各向同性(晶粒在各个面的反应速率相同)做表面预处理。

减薄工艺步骤中的相关工艺参数是：

NaOH溶液浓度20％—30％；最佳值为30％。

反应时间1—2min；最佳值为1.5min。

温度70℃—90℃；最佳值为80℃。

步骤二：制绒，为了在表面制成类似“金字塔”结构的表面性状，利用单晶硅片的晶粒在稀碱中反应的各向异性(晶粒在各个面的反应速率不同)。

具体操作步骤如下：

一、在清洗设备的水槽中加入去离子水，并打开加热电源；

二、按照规定的溶液比例，倒入已经称重好的NaOH固体，搅拌均匀；