[发明专利]太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺

权利要求书

1、一种太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺，其特征在于它包括如下步骤：

步骤一，减薄；减薄工艺步骤中的相关工艺参数是：

碱溶液浓度20％—30％；

反应时间1—2min；

温度70℃—90℃；

步骤二，制绒，制绒工艺的具体操作步骤如下：

(1)在清洗设备的水槽中加入去离子水，并打开加热电源；

(2)按照规定的溶液比例，倒入已经称重好的碱固体，搅拌均匀；

(3)待温度升至指定温度后，加入缓释剂异丙醇，第一批次加入

4000ml—6000ml；第二批次以后加入2000ml—3000ml，并搅拌均匀；

(4)放入已减薄好的硅片，反应即可；

上述制绒工艺步骤中的相关工艺参数是：

碱溶液浓度1.0％—1.5％；

反应时间20—35min；

温度70℃—90℃。

2、根据权利要求1所述的太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺，其特征在于该碱溶液是NaOH溶液或KOH溶液。

3、根据权利要求1或2所述的太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺，其特征在于该减薄工艺步骤中的优选的工艺参数是：

碱溶液浓度30％；

反应时间1.5min；

温度80℃。

4、根据权利要求1或2所述的太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺，其特征在于该制绒工艺步骤中的最佳工艺参数是：

碱溶液浓度1.2％；

反应时间30min；

温度80℃。

5、根据权利要求1或2所述的太阳能电池表面结构的碱溶液湿法腐蚀工艺，其特征在于该制绒过程中加入缓释剂乙醇/异丙醇，第一批次加入5000ml；第二批次以后加入2500ml为优选。