[发明专利]一种室温下制备氮化钛薄膜的方法无效
| 申请号： | 200710044920.3 | 申请日： | 2007-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN101109097A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 崔晓莉;马明 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C25D13/02 | 分类号： | C25D13/02 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于薄膜技术领域，具体为一种室温下制备氮化钛薄膜的方法。该方法以氮化钛纳米粉为原材料，使直流稳压电源或恒电位仪，直流稳压电源的正极与导电基底相连接，负极连接对电极铂片或石墨，调节直流稳压电源或恒电位仪的输入电压在10～20V，控制电泳时间为0.5～10小时，电解液采用含5～20g/L的纳米氮化钛的悬浊液，电泳沉积过程中对溶液进行磁力搅拌；在通电的过程中，氮化钛沉积在工件的表面形成彩色的氮化钛薄膜。由本发明提出的方法制备的氮化钛(TiN)薄膜具有特定的颜色和良好的附着力。而且，本发明工艺简单，操作方便，不需要高温环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 室温 制备 氮化 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种室温下制备氮化钛薄膜的方法，其特征在于以氮化钛纳米粉为原材料，使用直流稳压电源或恒电位仪，直流稳压电源的正极与导电基底相连接，负极连接对电极铂片或石墨，调节直流稳压电源或恒电位仪的输入电压在10～20V，控制电泳时间为0.5～10小时，电解液采用含5～20g/L的纳米氮化钛的悬浊液，电泳沉积过程中对溶液进行磁力搅拌；在通电的过程中，氮化钛沉积在工件的表面形成彩色的氮化钛薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于复旦大学，未经复旦大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710044920.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有后置音效的前置音箱
- 下一篇：滑板式气门装置
