[发明专利]一种用于半导体材料液相外延生长的隧穿式石墨舟

摘要

本发明公开了一种用于半导体材料液相外延生长的隧穿式石墨舟，该石墨舟包括：开有隧道的舟体、与隧道横截面尺寸配合的滑块、盖板和石墨垫片。隧道的顶面开有数个等间隔的放不同组分母液的母液方孔，滑块中间开有与外延衬底一样大小的衬底方孔，衬底方孔内置有调节衬底与孔道口高度的石墨垫片，衬底放在石墨垫片上。通过移动滑块使母液与衬底相接触，在衬底上外延生长一层薄膜材料。本发明的优点是：石墨舟的衬底槽改为衬底方孔，以舟体的底面作为安装石墨垫片和衬底的托底，使得石墨舟在加工过程中，孔内的垂直度和底面的平整度得到保证，并且通过石墨垫片可调节衬底的高度，这些特点能有效降低母液的残留，提高单晶薄膜的质量与成品率。

主权项

1.本发明的石墨舟，包括：开有隧道的舟体(1)、与隧道横截面尺寸配合的滑块(2)、盖板(3)和石墨垫片(4)，其特征在于：隧道(101)的顶面开有数个等间隔的放不同组分母液(7)的母液方孔(102)，滑块(2)中间开有与外延衬底(5)一样大小的衬底方孔(201)，衬底方孔内置有调节外延衬底与孔道口高度的石墨垫片(4)，衬底放在石墨垫片上；母液方孔边长要小于衬底方孔边长0.05mm，即母液方孔尺寸为X×Y，衬底方孔尺寸为X+0.05mm×Y+0.05mm；隧道(101)的长度小于舟体的长度，隧道所处舟体的位置要保证滑块推入隧道时，滑块的衬底方孔能在隧道外，以舟体的底面作为托底安装石墨垫片(4)和衬底(5)；滑块(2)的长度要保证其在隧道内移动时，使整个石墨舟保持平衡，并且保证数个母液方孔(102)能以滑块作为托底注入母液；盖板(3)盖在数个母液方孔(102)上，遮蔽母液方孔；滑块(2)的二端各开有一小孔用以插入手柄(6)推动滑块在隧道内移动。