[发明专利]应用于等离子体反应室中的气体喷头组件、其制造方法及其翻新再利用的方法

摘要

一种应用于等离子体反应室中的气体喷头组件、其制造方法及其翻新再利用的方法。所述气体喷头由具有低电阻率的主体层及涂覆于其一表面上的碳化硅涂层组成。所述气体喷头能使射频能量高效地电容性耦合到等离子体中。本发明提供的气体喷头的制作方法，可以显著减少微尘粒子产生。另外，本发明提供的翻新和再利用气体喷头的方法，能够显著地节省使用者的使用成本。

主权项

1. 一种应用于电容耦合型等离子体反应室中的气体喷头，包括：主体层，其由低电阻率材料制成；由化学气相沉积产生的碳化硅涂层，其涂覆于该主体层的下表面上；穿透该主体层和该碳化硅涂层的多个气体喷射孔。