[发明专利]一种自动多次回流机的元件固定装置有效
| 申请号： | 200710036722.2 | 申请日： | 2007-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101231938A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 卢秋明;马瑾怡 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/67;H01L21/687;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种自动多次回流机的元件固定装置，涉及半导体测试工艺。现有的回流机在运行时需要工作人员守在旁边等待换样品，如果看管不利，会造成器件掉出机台散落在地或者晶圆摔碎的情况，且经过回流温度曲线的晶圆需冷却一段时间才能将其拿起。本发明的自动多次回流机的元件固定装置，设于回流机的传送带上，其包括一用以放置半导体元件的笼子、一设于笼子底面且垂直于传送带的传送方向的转轴、以及设于传送带上的两对支撑架，一对卡在转轴的各卡口处，用以轴向定位所述转轴，另一对平行于传送带的传送方向设置于笼子底面，使笼子的平面与传送带平行。本发明可解决半导体元件在回流过程中的散落问题，并自动完成回流过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 多次 回流 元件 固定 装置 | ||
【主权项】：
1.一种自动多次回流机的元件固定装置，设于回流机的传送带上，其特征在于，所述固定装置包括：一笼子，用以放置半导体元件；一转轴，设于笼子底面且垂直于传送带的传送方向，转轴两端设有卡口；以及两对支撑架，设于所述传送带上，一对卡在转轴的各卡口处，用以轴向定位所述转轴，另一对平行于传送带的传送方向设置于笼子底面，使笼子的平面与传送带平行。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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