[发明专利]微悬臂梁粘附特性的检测方法

摘要

微梁结构粘附特性的检测方法是一种专门用于检测微梁结构粘附的方法，其特征在于当微梁结构(悬臂梁及双端固支梁)完全或者部分发生粘附时，其结构形状和有效长度将发生改变，根据振动力学原理，从而导致微梁的振动的固有频率发生变化。该方法基于多普勒仪(Doppler)测振系统，多普勒仪(Doppler)的函数发生器驱待测样品振动，加载扫频信号，将激光束聚焦在梁结构上，就会得到梁结构振动的幅频特性。通过对比测得的固有频率值和理论值，即可判断出梁结构是否与衬底粘附在一起。该方法具有创新性，结构上具有代表性，可以动态测试，以及精度高、可靠度高、快捷等优点。

主权项

1.一种微悬臂梁和双端固支梁粘附特性的检测方法，其特征在于该检测方法使用多普勒测振仪检测微悬臂梁和双端固支梁的粘附特性，具体测试流程为：1).根据被测梁的材料参数，包括材料密度、杨氏模量；以及被测梁的结构参数，包括长、宽、高，计算出被测梁结构振动的固有频率理论值；2).使用多普勒测振仪，将其激光束聚焦在被测梁结构的固支端附近，加载扫频激励信号，具体方法可以使用函数发生器激励或者压电陶瓷片激励，测试出被测样品振动的固有频率值；3).对比固有频率的实际测量值与固有频率理论计算值，如果实际测量值与理论计算值相同，则说明被测微梁结构没有发生粘附；如果实际测量值与理论计算值相差较大，则可以判断被测微梁结构发生了粘附。