[发明专利]成像设备、放射线成像设备及其制造方法

摘要

提供了一种成像设备，包括以二维方式设置在绝缘基板上的多个像素，每个像素包括转换元件和薄膜晶体管；该光电转换元件设置在薄膜晶体管之上，其中用作层间绝缘膜的绝缘膜插入转换元件与薄膜晶体管之间；通过设置在绝缘膜中的接触孔使薄膜晶体管的源电极或漏电极与光电转换元件彼此连接。该成像设备具有其中通过激光束照射移除接触孔部分从而断开了转换元件与用作薄膜晶体管的源电极或漏电极的导电层之间的电连接的像素。

主权项

1.一种成像设备，包括：设置在绝缘基板上的多个像素，所述多个像素中的每一个都包括：具有源电极和漏电极的薄膜晶体管；设置在薄膜晶体管之上的转换元件；以及设置在薄膜晶体管与转换元件之间的绝缘膜，其中所述多个像素包括：其中通过设置在绝缘膜中的接触孔使薄膜晶体管的源电极或漏电极与转换元件彼此连接的像素；以及其中与薄膜晶体管的源电极或漏电极电连接的转换元件、绝缘膜和导电层被一同移除从而断开了薄膜晶体管与转换元件之间的电连接的像素。