[发明专利]受激准分子激光器和谱线紧缩模块

摘要

本发明公开了一种能够使半导体制造的生产良率增大并最大化的受激准分子激光器和谱线紧缩模块。谱线紧缩模块利用了扩束器，由受激准分子激光器的发生器产生并入射的激光穿过扩束器，且扩束器将激光准直在一个方向上。衍射光栅接收准直的激光，衍射激光，并根据激光的相关波长将激光的行进方向分开。多波长反射器位于衍射光栅和扩束器之间的一侧的反射位置，以通过扩束器使具有多波长的激光再次进入发生器中。多波长反射器将行进方向被衍射光栅分开的激光中由多个波长组成的激光反射到扩束器上。

主权项

1、受激准分子激光器的谱线紧缩模块，包括：扩束器，位于受激准分子激光发生器的第一侧，所述扩束器被构造为使从所述发生器产生并入射的激光穿过，并将所述激光准直在一个方向上；衍射光栅，位于所述发生器的第二侧，所述第一侧与所述第二侧相对并与所述第二侧分隔开，所述衍射光栅被构造为衍射从所述扩束器接收的准直的激光，使得根据与所述激光相关联的对应的波长来分开所述激光的行进方向；多波长反射器，位于所述衍射光栅和所述扩束器之间的反射位置，所述多波长反射器被构造成将所述衍射光栅分开的多波长激光通过所述扩束器反射回所述发生器。