[发明专利]基板定位装置及具有基板定位装置的机台

摘要

本发明涉及一种基板定位装置及具有基板定位装置的机台，其中基板定位装置安装于机台上以使基板固定于机台上，基板定位装置包含：固定座，包含轴孔；锁固元件，位于轴孔内，用以将固定座锁固于机台上；引导座，包含：套接孔，用以套接固定座；以及引导部，用以导正基板在机台上的位置，并支撑基板；以及顶帽，包含：轴杆，嵌插于轴孔内；以及抵持部，位于轴杆的一端，用以抵持引导座，以将引导座固定于机台上。本发明的优点在于：可以在更换引导座时不需重新调校位置，缩短了更换时间并提高了更换效率，从而可以降低成本。

主权项

1.一种基板定位装置，其安装于一机台上以使一基板固定于该机台上，该装置包含：一固定座，包含一轴孔；一锁固元件，位于该轴孔内，以将该固定座锁固于该机台上；一引导座，包含：一套接孔，用以套接该固定座；和一引导部，用以导正该基板在该机台上的位置，并支撑该基板；及一顶帽，包含：一轴杆，嵌插于该轴孔内；和一抵持部，位于该轴杆的一端，用以抵持该引导座，以将该引导座固定于该机台上。