[发明专利]光固化性树脂组合物及形成图案的方法有效
| 申请号： | 200710001703.6 | 申请日： | 2007-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN101000462A | 公开（公告）日： | 2007-07-18 |
| 发明（设计）人： | 荻野雅彦;锻治诚;赖华子 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/004;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及含有(甲基)丙烯酸酯单体和/或低聚物及光聚合引发剂的光固化性树脂组合物，上述(甲基)丙烯酸酯单体和/或低聚物组合物含有环状结构，上述环状结构中碳的原子量Mcr和组合物中的全部碳的原子量MTOT的关系为Mcr/MTOT＞0.1，或上述环状结构中的全部原子数N、上述组合物中的全部碳的原子数Nc和全部氧原子数No的关系为N/(Nc－No)＜4，组合物的运动粘度为10mPa·s以下。该树脂组合物是可以用于光纳米印制的低粘度而干蚀刻性优异的光固化性树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 光固化 树脂 组合 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
1、光固化性树脂组合物，其中包含含有环状结构的(甲基)丙烯酸酯单体和/或低聚物及光聚合引发剂，(1)上述环状结构中的碳原子的合计原子量Mcr和上述组合物中的全部碳的合计原子量MTOT的关系为Mcr/MTOT＞0.1，(2)上述环状结构中的碳的全部原子数N、组合物中的全部碳的原子数Nc和全部氧原子数No的关系为N/(Nc-No)＜4，上述环状结构中的碳原子、组合物中的全部碳原子及氧原子至少满足上述(1)及(2)中的任一种关系。
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