[发明专利]反射型光学传感器以及测量面的表面粗糙度检测方法

摘要

本发明提供反射型光学传感器以及测量面的表面粗糙度检测方法。该表面粗糙度测量用传感器的检测精度高且制造成本低廉。反射型光学传感器具有发出单一波长的光的发光器件(2)和对发光器件(2)发出的光具有受光灵敏度的两个受光器件(3f、3n)，受光器件(3f、3n)配置成各自的光轴(X_df、X_dn)成为大致平行，发光器件(2)和受光器件(3f)配置成各自的光轴(X_e)和(X_df)在从反射型光学传感器(1)离开预定的距离(Fa)的位置(P_xf)交叉，发光器件(2)和受光器件(3n)配置成各自的光轴(X_e)和(X_dn)在从反射型光学传感器(1)离开预定的距离(N_e)的位置(P_xn)交叉。设置反射型光学传感器(1)以使发光器件(2)的光轴(X_e)和受光器件(3f)的光轴(X_df)交叉的受发光光轴交叉点(P_xf)位于测量点(S)，并且使发光器件(2)的光轴(X_e)和受光器件(3f)的光轴(X_df)相对于测量点(S)处的法线(SN)成为相同角(θ)。

主权项

1.一种反射型光学传感器，其特征在于，该反射型光学传感器的受发光部被可自由移动地支持着，所述受发光部配置了发光部和对所述发光部发出的光具有受光灵敏度的受光部，所述发光部和所述受光部各自的光轴在所述发光部的发光方向以及所述受光部的受光方向上以预定的角度交叉。