[发明专利]外观检查装置有效
申请号: | 200680054865.X | 申请日: | 2006-06-08 |
公开(公告)号: | CN101460832A | 公开(公告)日: | 2009-06-17 |
发明(设计)人: | 桥本胜行;时田浩行;内木裕 | 申请(专利权)人: | 奥林巴斯株式会社 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在本发明的外观检查装置中,载置台(2)保持基板(1),并且使基板(1)摇动。光源(3)向基板(1)的表面照射照明光。摄像装置(4)拍摄该基板(1),生成图像数据并输出到控制装置(6)。该摄像装置(4)配置在检查者的目视位置(P)的附近。控制装置(6)将从摄像装置(4)输出的图像数据存储到内部的存储部中。 | ||
搜索关键词: | 外观 检查 装置 | ||
【主权项】:
1. 一种外观检查装置,其特征在于,该外观检查装置具有:被检体保持部,其为了通过目视进行被检体的外观检查,保持所述被检体,并且使该被检体摇动;以及摄像部,其拍摄所述被检体,生成图像数据,所述摄像部被配置成,在进行外观检查时,其光轴与检查者观察所述被检体的视线大体一致。
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