[发明专利]外观检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及通过检查者的目视来检查半导体晶片的基板等被检体的外观的外观检查装置。 

背景技术

以往，在使用了半导体晶片等基板的制造工序中，对涂敷在基板上的保护膜等的膜斑和瑕疵等缺陷进行检查。例如在半导体晶片的外观检查的情况下，通过外观检查装置如下进行检查(参照专利文献1、2)。首先，从收纳半导体晶片的盒中，通过输送机械手取出半导体晶片，输送到宏观检查部。在宏观检查部中，通过能够摇动和旋转半导体晶片的载置台来支承半导体晶片。检查者通过操作设置在外观检查装置上的操纵杆等、或者通过预先设定的方法使载置台自动摇动，由此使半导体晶片摇动，通过目视观察检查是否存在缺陷，判定晶片是否合格。 

接着，根据需要向微观检查部输送半导体晶片。在微观检查部中，通过显微镜观察进行半导体晶片表面的缺陷部的放大观察。在微观检查结束后，半导体晶片由输送机械手进行输送，重新被收纳到盒中。 

近年来，还通过摄像装置对工作台上载置的半导体晶片的整面进行拍摄，由此进行自动宏观检查(例如参照专利文献3)。但是具有以下情况：在具有能够通过目视明确辨认缺陷的大的缺陷的情况、和检查背面的情况下等，通过以往目视的方法进行的宏观检查装置比较适合，能够迅速地进行检查。因此，如上所述使半导体晶片旋转、摇动，通过目视进行宏观检查。 

专利文献1：日本特开平9—186209号公报 

专利文献2：日本特开平6—349908号公报 

专利文献3：日本特开平7—27709号公报

但是，在目视的宏观检查中，由于观察散射光、衍射光等，因此即使利用相同的方法进行摇动检查，根据照明光、载置台的摇动角度和检查者的眼睛的位置，也存在检查者观察到缺陷和观察不到缺陷的情况，从而具有在检查结果中产生波动的问题。此外，能够确认缺陷的只是检查者一人，没有留下缺陷形状或缺陷位置等信息，因此具有难以重新确认结果、难以在检查者之间共享缺陷信息的问题。 

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，目的在于提供一种能够实现外观检查时的缺陷图像的共享的外观检查装置。 

本发明是为了解决上述问题而完成的，是一种被检体的外观检查用的外观检查装置，其特征在于，该外观检查装置具有：被检体保持部，其为了进行目视的外观检查，保持所述被检体，同时使该被检体摇动；以及摄像部，其拍摄所述被检体，生成图像数据，所述摄像部被配置成在进行外观检查时，其光轴与检查者观察所述被检体的视线大体一致。 

此外，在本发明的外观检查装置中，优选具有：照明被检体的照明部；摇动位置存储部，其用于存储所述被检体保持部的摇动位置信息；摇动位置存储操作部，其根据目视检查所述被检体的缺陷的检查者的操作，使所述摇动位置信息存储到所述摇动位置存储部；视线信息检测部，其对操作了该摇动位置存储操作部的情况进行检测，并检测相对于所述被检体的检查者的视线信息；以及摄像动作控制部，其根据存储在所述摇动位置存储部中的所述摇动位置信息和由所述视线信息检测部检测出的所述视线信息，控制所述摇动保持部和所述摄像部移动机构中的至少任意一个，在设定为所述摄像部的光轴和所述被检体的位置关系与所述检查者的视线和所述被检体的相对位置相同的同时，进行相对于所述被检体的摄像动作。 

此时，在检查者操作了摇动位置存储操作部的情况下，在摇动位置存储部中存储摇动保持部的摇动位置信息，同时通过视线信息检测部对操作了摇动位置存储操作部的情况进行检测并检测相对于被检体的检查者的视线信息。然后，摄像动作控制部能够根据这些摇动位置信息和检查者的视线信息，设定为摄像部的光轴和被检体的位置关系与检查者的视线和被检体的相对位置相同，同时进行相对于所述被检体的摄像动作。由此，能够在操作了摇动位置存储操作部时，拍摄与检查者观察到的状态的被检体的图像相同的图像。 

根据本发明，生成表示与目视的像相同的像的图像数据并进行保存，因此，能够得到可以共享目视的外观检查的结果的效果。此外，在确认检查结果时，由于没有必要再次进行检查，因此还能够得到提高作业效率的效率。 

附图说明

图1是示出本发明的第1实施方式的外观检查装置的结构的俯视图。 

图2是示出本发明的第1实施方式的外观检查装置的结构的框图。 

图3A是用于说明第1实施方式的变形例的概略结构图。 

图3B是用于说明第1实施方式的变形例的概略结构图。 

图4A是用于说明第1实施方式的其他变形例的概略结构图。