[发明专利]层叠型压电元件及其制造方法有效
申请号: | 200680046422.6 | 申请日: | 2006-10-12 |
公开(公告)号: | CN101326651A | 公开(公告)日: | 2008-12-17 |
发明(设计)人: | 山本笃史;出口洋一;林宏一 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083;H01L41/187;H01L41/22;H02N2/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种层叠型压电元件,具有将内部电极层(21、22)和压电陶瓷层(11)交替层叠后的素体(10),内部电极层(21、22)以Cu为主成分,并且所述压电陶瓷层以由Pb(Ti,Zr)O3表示的复合氧化物为主成分,含有5价和6价中的至少任意一种的金属元素Nb、Sb、Ta或W的金属氧化物(Nb2O5、Sb2O5、Ta2O5或WO3)以伴随着从内部电极层(21、22)的远离浓度减小的形式含在压电陶瓷层11中。从而即使在内部电极以Cu为主成分时,也能实现一种取得充分的压电常数,同时低温焙烧成为可能的层叠型压电元件。 | ||
搜索关键词: | 层叠 压电 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种层叠型压电元件,具有内部电极层和压电陶瓷层交互层叠构成的素体,其特征在于:所述内部电极层以Cu为主成分,并且所述压电陶瓷层以由Pb(Ti,Zr)O3表示的复合氧化物为主成分,含有5价和6价中的至少任意一种的金属元素的金属氧化物,以伴随着从所述内部电极层的远离而浓度减小的形式含在所述压电陶瓷层中。
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