[发明专利]正型感光性树脂组合物及使用该组合物的半导体器件和显示器无效
| 申请号： | 200680044969.2 | 申请日： | 2006-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN101322073A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 番场敏夫;水岛彩子 | 申请（专利权）人： | 住友电木株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴小瑛;刘春生 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物，其包括(A)碱溶性树脂，(B)重氮醌化合物，(d1)活化的硅化合物，和(d2)铝络合物。本发明还涉及一种正型感光性树脂组合物，其包括(A)碱溶性树脂，(B)重氮醌化合物，(C)一个分子中具有两个或多个氧环丁基的化合物，和(D)用于促进化合物(C)的氧环丁基的开环反应的催化剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 使用 半导体器件 显示器 | ||
【主权项】：
1.正型感光性树脂组合物，其包括：(A)碱溶性树脂，(B)重氮醌化合物，(d1)活化的硅化合物，和(d2)铝络合物。
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