[发明专利]MEMS可调器件

摘要

一种微机电器件，该器件具有基板(60)、可移动元件(15)、被布置在基板和可移动元件上以移动可移动元件的电极对(40)，和对电极供电的控制器(50)。为了将可移动元件移动到中间位置，在移动过程中施加了一个或多个脉冲，来定时补偿移动的欠阻尼或过阻尼。这可以降低稳定延迟。这种器件适用于可调RF电容器。为了控制间隙的降低，最大电源电平的单个脉冲补偿了器件的固有迟缓和过阻尼。为了补偿欠阻尼，脉冲具有对应于谐振频率的周期，并且包括高于或低于最终电源电平的峰和谷，以便相继的峰和谷更接近于给定的供电电平。

主权项

1.一种微机电器件，该微机电器件具有基板(60)、可移动元件(15)、电极对(40)和控制器(50)，所述电极对被布置在所述基板和所述可移动元件上，所述电极对相互协作使所述可移动元件相对于所述基板移动，所述控制器对所述电极供电，以将所述可移动元件移动到最大位置和最小位置之间的中间位置，所述控制器提供一个或多个具有比将所述电极保持在中间位置的第二电平高的第一电平的脉冲，然后将脉冲降低到第二电平以将所述可移动部分稳定在所述中间位置。