[发明专利]在用于液晶显示器的玻璃基板上制造导电特征的方法和装置无效
| 申请号： | 200680037893.0 | 申请日： | 2006-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN101288165A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 杰弗里·马克斯 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01L21/77 | 分类号： | H01L21/77;C25D5/02;C25D5/04;C25D17/28;G02F1/1368;G02F1/1362 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚;尚志峰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供用于将金属特征限定为液晶显示器(LCD)一部分的方法和系统。该方法应用于玻璃基板，并且该玻璃基板具有限定在该玻璃基板或该玻璃基板的层上的掩蔽导电金属层(例如，阻挡层)。反型光刻胶掩模施加在该掩蔽导电金属层上。然后在该反型光刻胶掩模上形成电镀弯液面。该电镀弯液面至少包含电解溶液和电镀化学品，其中，该电镀弯液面在掩蔽导电金属层上的未被该反型光刻胶掩模覆盖的区域内形成金属特征。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 液晶显示器 玻璃 基板上 制造 导电 特征 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于在玻璃基板上制造金属特征的方法，包括：在所述玻璃基板上施加光刻胶层；在所述光刻胶层上形成多个特征图案，以限定反型光刻胶掩模；在所述反型光刻胶掩模上局部地施加电镀流体，以在未被所述反型光刻胶掩模覆盖的区域内形成电镀材料；以及去除所述反型光刻胶掩模，以在未被所述反型光刻胶掩模覆盖的所述区域内限定所述金属特征。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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