[发明专利]β－双烯酮亚胺配体源和其含金属化合物，以及包括其的系统和方法

摘要

本发明提供包括至少一个β－双烯酮亚胺配体的含金属化合物，以及制备和使用所述化合物的方法。在某些实施例中，所述含金属化合物包括至少一个β－双烯酮亚胺配体，其具有至少一个含氟有机基团作为取代基。在某些其它实施例中，所述含金属化合物包括至少一个β－双烯酮亚胺配体，其具有至少一个脂肪族基团作为取代基，所述脂肪族基团经选择从而具有比所属领域已知的某些含金属化合物的β－双烯酮亚胺配体中的相应取代基更高的自由度。可使用所述化合物利用气相沉积法来沉积含金属层。本发明还提供包括所述化合物的气相沉积系统。本发明还提供β－双烯酮亚胺配体源。

主权项

1.一种在衬底上形成含金属层的方法，所述方法包含：提供衬底；提供包含至少一种下式(式I)的化合物的蒸气：其中：M选自由2族金属、3族金属、镧系元素和其组合组成的群组；各L独立地为阴离子配体；各Y独立地为中性配体；n表示所述金属的价态；z为0到10；x为1到n；且各R¹、R²、R³、R⁴和R⁵独立地为氢或有机基团，条件是至少一个所述R基团为含氟有机基团；和使所述包含所述至少一种式I的化合物的蒸气与所述衬底接触，使用气相沉积方法于所述衬底的至少一个表面上形成含金属层。