[发明专利]具有增强行程能力的压电执行元件无效
申请号: | 200680022337.6 | 申请日: | 2006-06-07 |
公开(公告)号: | CN101203967A | 公开(公告)日: | 2008-06-18 |
发明(设计)人: | S·拉姆彭谢尔夫;A·沃尔夫 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | H01L41/09 | 分类号: | H01L41/09;H01L41/24 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 卢江;刘宗杰 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明提供一种具有基于在机械预应力和电场的同时影响下对特定结构化压电陶瓷层的变形特性的利用而增强的行程能力的压电执行元件(1)。此外,本发明提供一种用于制造所述压电执行元件(1)的方法。压电执行元件适用于低压运行,例如在生物和医药技术(微泵、微阀)、工业电子技术(气动阀)、微执行元件和微电动机的领域内来实现。 | ||
搜索关键词: | 具有 增强 行程 能力 压电 执行 元件 | ||
【主权项】:
1.压电执行元件(1),其包括以下特征:a.具有至少一个拱起(20)的至少一个压电层(10),所述拱起(20)布置在用于在压电层(10)中产生电场的相互面对的两个电极层(30)之间;以及b.预应力装置(40),借助所述预应力装置(40)可以通过所述至少一拱起(20)调节所述压电层(10)的机械张力,使得当在加载预应力的压电层(10)中产生电场时所述机械张力促进所述压电执行元件(1)的膨胀性能。
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