[发明专利]具有增强行程能力的压电执行元件无效
申请号: | 200680022337.6 | 申请日: | 2006-06-07 |
公开(公告)号: | CN101203967A | 公开(公告)日: | 2008-06-18 |
发明(设计)人: | S·拉姆彭谢尔夫;A·沃尔夫 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | H01L41/09 | 分类号: | H01L41/09;H01L41/24 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 卢江;刘宗杰 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 增强 行程 能力 压电 执行 元件 | ||
1.压电执行元件(1),其包括以下特征:
a.具有至少一个拱起(20)的至少一个压电层(10),所述拱起(20)布置在用于在压电层(10)中产生电场的相互面对的两个电极层(30)之间;以及
b.预应力装置(40),借助所述预应力装置(40)可以通过所述至少一拱起(20)调节所述压电层(10)的机械张力,使得当在加载预应力的压电层(10)中产生电场时所述机械张力促进所述压电执行元件(1)的膨胀性能。
2.根据权利要求1所述的压电执行元件(1),所述压电执行元件(1)的压电层(10)具有多个以规律和/或不规律方式布置的拱起(20)。
3.根据权利要求1或2所述的压电执行元件(1),所述压电执行元件(1)具有多个以相同和/或不同方式成形的拱起(20)。
4.根据权利要求1所述的压电执行元件(1),所述压电执行元件(1)的压电层(10)具有周期性波纹状轮廓。
5.根据上述权利要求中任一项所述的压电执行元件(1),所述压电执行元件(1)的预应力装置(40)具有第一板(42)和第二板(44),其中所述压电层(10)的至少一拱起(20)可以借助所述板(42,44)被压缩。
6.用于制造压电执行元件(1)的方法,所述方法包括以下步骤:
a.在载体薄膜上对由压电材料制成的薄膜进行浇铸和干燥;
b.将由压电材料制成的薄膜设置在具有至少一不平整物(60)的表面(50)上,以便将至少一拱起(20)压印到所述薄膜中;
c.在具有至少一不平整物(60)的表面(50)上烧结所述薄膜;以及
d.将电极施加在所述薄膜的相互面对的侧上,并将所述薄膜装入预应力装置中。
7.根据权利要求6所述的方法,所述方法还包括:将多个不平整物(60)以不规律和/或规律的模式布置在所述表面(50)上。
8.根据权利要求6或7所述的方法,所述方法还包括:将多个以相同和/或不同方式成形的不平整物(60)布置在所述表面(50)上。
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