[发明专利]用于MEMS电容式麦克风的改进膜片无效
| 申请号： | 200680017335.8 | 申请日： | 2006-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN101180917A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·卢茨 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱进桂 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 公开了一种用于麦克风(1)的膜片(2)，包括：第一部分(A1)、第二部分(A2)和连接所述第一部分(A1)和所述第二部分(A2)的元件(E1…E4，E1’…E4’)。第二部分(A2)设置成在空闲位置附近相对于所述第一部分(A1)移动，所述移动至少包括沿与所述膜片(2)垂直的移动方向(dm)的平移分量。所述元件(E1…E4，E1’…E4’)配置成限定在所述空闲位置附近的所述移动的弹簧常数，并且配置成实质上沿所述第二部分(A2)的外边界设置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 电容 麦克风 改进 膜片 | ||
【主权项】：
1.一种用于麦克风(1)的膜片(2)，包括：第一部分(A1)、第二部分(A2)和连接所述第一部分(A1)和所述第二部分(A2)的元件(E1...E4，E1’...E4’)，其中所述第二部分(A2)设置为在空闲位置附近相对于所述第一部分(A1)移动，所述移动至少包括沿与所述膜片(2)垂直的移动方向(dm)的平移分量；其中所述元件(E1...E4，E1’...E4’)实质上沿所述第二部分(A2)的外边界设置；以及其中所述元件(E1…E4，E1’…E4’)配置成限定在所述空闲位置附近的所述移动的弹簧常数。
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